一、室內的空氣污染源及其傳播途徑
1、室內工作人員
人員發塵是無塵室內空氣污染源的zui主要來源，占80%~90%。人動作時的發塵量相當復雜，人靜止（或基本靜止）時的發塵量和激烈活動時的發塵量大約相差10倍。一個人在室內活動時不可能都是激烈活動，如果取這些動作的平均，可以認為一個人在室內活動時的發塵量為其靜止（或基本靜止）時的5倍，即為：5×105粒/（min•人）。
根據工藝性質、人的動作的多少和強弱的不同，倍數是不同的，可以分為較低（勞動強度極低或坐著操作，幾乎很少起來活動）和較高（勞動強度比一般水平高或活動比較頻繁）兩類，分別為3倍和7倍于靜止發塵量的數值，相應為3×105粒/（min•人）和7×105粒/（min•人）。當然，人體發塵量還與服裝有很大的關系，和服裝的洗晾、吹淋等也有很大關系。根據實際使用情況和實驗測定，尼龍綢潔凈服發塵量zui少，棉的確良潔凈工作服的發塵量比尼龍綢的大。如果在尼龍綢衣服內加穿一件棉的確良工作服，則可使尼龍綢工作服的發塵量進一步降低。此外，潔凈工作服不宜揉洗，洗后應在潔凈環境中晾干。
2、設備及工藝發塵
設備的產塵以轉動設備尤為突出，電動機（尤其是帶炭刷的電機）、齒輪轉動部件、伺服機械部件、液壓和氣動啟動器開關或人工操作的設備，都會由于移動（轉動）著的表面之間的摩擦而產生微粒。西方工業國家對無塵室常見的不同運轉方式、不同速率、不同材質的機械設備的典型動作和某些電器的產塵進行了相應的實驗研究。對無塵室的機械、電器污染源給出了一些塵粒散發量的可參考數值，為無塵室通風設計提供了計算依據。
3、與無塵室相鄰的污染區域
與無塵室周邊相鄰或相通的，較低潔凈度的區域或非潔凈區域，由于人員、材料的進出攜帶的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內潔凈度的另一個重要污染來源。合理的正壓差是減少通過圍護結構的縫隙和傳遞窗、門、傳送帶開口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。設在門口的氣閘室、緩沖室以及空氣吹淋室也有一定作用。但*避免周邊污染區域對無塵室環境的干擾與影響也是困難的，特別是無塵室在外門的附近區域。因此，關鍵工藝區域宜遠離外門。
4、未經過濾的送風
在正常情況下，新建、改建無塵室或是末級過濾器更換后，按規范要求進行了嚴格的驗收檢測，則過濾器本身、空氣過濾器與支撐框架的接觸面如有泄漏，都應被查出并予以處理。此時，送風系統不存在未經過濾而進入無塵室的空氣。值得防范和注意的是，在生產過程中未按操作規章不慎觸及脆弱的過濾器紙芯，或是過濾器支撐框架因振動、或是密封膠墊老化、變質而致使過濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現裂隙，從而泄漏未經過濾的空氣，污染無塵室，這也是日常監測工作關注的重點。
5、原材料、包裝等
對進入無塵室的設備、材料以及容器、包裝等的預清潔、拆包地點和方法，以及進入無塵室的程序等，都應該按照無塵室運行管理的相關規范執行。但即使嚴格按照相關規范和程序操作，仍然難以*杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難以*清潔的產品的細小組件上的污染物被帶入無塵室。它們構成了生產過程中的又一個重要污染源，而在這一點上往往容易被忽略。出現問題時，通常把注意力放在尋找空調凈化系統的缺陷上。
二、針對污染源的控制方法
1、控制人員散發的污染
人員的鼻腔、口腔、皮膚、頭發和身上的服裝都散發污染物。控制人員散發的污染，首先是控制進入無塵室的人員數量。與生產、科研無直接關系，未經無塵室工作人員守則培訓的人員，一律不得進入無塵室。進入的人員要遵循無塵室工作守則，整齊穿著潔凈工作服，戴工作手套、口罩、頭套，穿凈化鞋，經潔凈通道進入。對進出無塵室人員要嚴格管理，例如不允許進入無塵室工作時使用化妝品，定期洗澡，在無塵室中不允許戴手表及首飾，進入無塵室前幾小時內不宜吸煙，禁止攜帶私人物品進入無塵室等。除盡可能降低人員散發的污染物外，空調凈化送風的氣流也是有效稀釋、疏導并排出人員散發的污染物的重要手段。例如人員行走的通道是散發污染物的主要位置，在該處設置回、排風口，使其處于室內下風向，以盡可能減少人員所散發的污染物擴散到無塵室的其它區域。又如關鍵工序部位設置在無塵室中非操作人員不易到達之處，以減少額外的人員污染。
2、控制工藝設備及工藝的產塵
無塵室內的工藝設備應選料精良，光潔耐磨，那些轉動、滑動部位格外重要，要盡可能地減少磨損及產塵。對于那些產塵的工藝過程要盡可能地將其封閉或設置圍擋，并輔以排風，形成局部范圍相對于無塵室的負壓，以限制污染物向無塵室其他區域擴散。對室內的機器設備定期地進行清潔、擦拭是必要的制度，也是減少積塵二次飛揚的有效措施。
3、不同級別相鄰無塵室間的壓差
防止從相鄰的潔凈度較低區域向無塵室傳播污染的主要方法是：維持高潔凈度區域相對于低潔凈度區域、低潔凈度區域相對于服務區域、服務區域相對于室外有一個合適的正壓值。根據不同的情況，不同級別相鄰房間的正壓值約為5Pa-10Pa。讓不同潔凈度的各級房間維持梯次的壓差，目的是當房間門處于關閉情況時，通過縫隙的氣流流向是由別無塵室流向低級別無塵室、由低級別無塵室流向走廊和服務區，再流向室外。這樣就可減少由室外向服務區域，服務區域向低級別無塵室，低級別無塵室向別無塵室傳播空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，許多理論研究和實踐都證明，人員、物料通過門時，即便門兩側關門壓差高達50Pa~60Pa，仍難避免隨人員、物料向內移動時的攜帶氣流將污染帶入室內。特別是當門兩側存在溫度差時，門敞開后，即便無人走動，在開口斷面部分面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。此外，過高的正壓差還會造成無塵室的門既難開啟又難關嚴，門縫氣流造成哨聲噪聲，以及因氣流外溢過量而補風量增加，浪費能源和加重各級過濾器的負擔。
4、無塵室送風的過濾
無塵室空調送風系統的末端裝置--空氣過濾器或超空氣過濾器，在正常情況下能有效過濾經空調機組處理的新風和回風中的顆粒污染物。經、超空氣過濾器處理后的潔凈空氣送入室內，可有效地排替、沖淡室內污染物，以維持室內的潔凈度。但末級過濾器如有破損或過濾器與支撐框架間的密封出現裂隙，氣密性失效，那么未經空氣過濾器過濾的空氣就可能攜帶大量污染粒子進入室內并隨氣流擴散，危害影響范圍較大。因此無塵室投入使用前的末級過濾器檢漏、堵漏或更換工作十分重要。運行過程中防范末級過濾器受損，也十分重要。
5、進入無塵室的材料與部件的清潔
無塵室的產品和原材料、產品的容器和包裝材料都要使用不產生污染的材料。這些材料的生產制造也要在對產品污染相對較小的環境中進行。例如，大輸液塑料瓶的注塑車間等，宜維持一定的潔凈級別，以減少大輸液灌封工序環境的污染負荷。進入無塵室的各種零部件應是清潔的，其包裝要符合要求。在無塵室外拆包裝時要保證這些零部件不會被污染。不符合無塵室使用要求的零部件要經過清潔后方可進入無塵室。