根據潔凈室內氣流的流動方向，單向流潔凈室的氣流組織形式可以分為垂直單向流氣流組織和水平單向流氣流組織兩大類，每種類型又有多種形式。
1、垂直單向流潔凈室
（1）垂直單向流滿布過濾器，格柵回風。其特點是可以獲得均勻向下的單向平行氣流，自凈能力強，能夠達到高的潔凈度級別。在潔凈室內，工藝設備可以任意布置，可以簡化人身凈化設施，例如可以不設置吹淋室。但是這種潔凈室的頂棚結構復雜，造價和維護費用高，過濾器堵漏比較困難。
（2）垂直單向流滿布孔板，格柵回風。垂直單向流的主要缺點是造價高，其重要原因之一
是采用了頂棚滿布空氣過濾器。頂棚滿布空氣過濾器的作用是分布空氣和過濾微粒。為了使氣流均勻和頂棚美觀，空氣過濾器下面設有阻尼層。為了降低潔凈室的造價，可以將空氣過濾器布置在兩側，頂棚滿布孔板，起到使氣流均勻的作用。但是側布空氣過濾器不容易滿足風量的要求，因此這種方式可以應用于潔凈面積較小、風量不大的潔凈室。
（3）垂直單向流滿布阻尼層，格柵回風。側布空氣過濾器面積不容易滿足風量的要求，特別是不容易滿足大于80%額定風量的要求。空氣過能器側布時，采用金屬孔板作為阻尼層分布空氣。陽尼層的作用是要保證其下方為均勻的平行單向流，因此孔板的開孔率應在60%以上。阻尼層不能用易含塵或本身易帶塵的材料，如一般無紡布。除金屬孔板外，也可用尼龍紗等透氣性好的材料做阻尼層。例如，可將尼龍紗繃緊在框架上，然后將框架放在輕型金屬材料制作的頂棚骨架上，安裝拆卸都很方便。由于這些材料阻力小，其與空氣過健器之間不能緊密接觸，因此在空氣過濾器的內表面上容易積塵。
（4）垂直單向流兩側下回風，過濾器送風。垂直單向流潔凈室造價高的另一個重要原因是使用了格柵地板，這種地板一般用鑄鋁、塑料、鋼材等制作，材料價格比較高。
（5）垂直單向流兩側下回風，孔板送風。空氣過濾器側布，兩側下回風潔凈室與典型的垂直單向流相比較，從頂棚和地面兩個方面降低了潔凈室的造價。
（6）垂直單向流兩側下回風，阻尼層送風。這是為了降低潔凈室的造價，采取的另一種對滿布空氣過濾器送風，地板回風方式的改進方法。
（7）垂直單向流周邊壓出式回風，滿布過濾器送風。是簡易的垂直單向流潔凈室，氣流平行性不如兩側下回風式，壓出的氣流有利于所在環境潔凈度的提高。
（8）無氣幕局部垂直單向流。只在需要平行流的地區形成局部單向流，投資大為減少。
（9）有圍擋的局部垂直單向流。可延伸垂直單向流的有效長度，相當于加寬了進風口或縮短了送風口至工作區的距離。
2、水平單向流潔凈室
水平單向流潔凈室根據送、回風口的相互關系和氣流方向，一般可分為直回式、敞開式或隧道式、一側回風式、雙側回風式、雙層壁雙側回風式、上回風式、對送式等不同形式。
（1）水平單向流直回式。該種形式是典型的水平單向流潔凈室。送風墻滿布空氣過濾器水平送風，全墻面回風。這種潔凈室的回風墻一般安裝中效過濾器。但是對于某些用途的潔凈室(例如制藥用潔凈室、細菌培養用潔凈室等)，為了避免室內操作過程發生的特殊微粒污染管道系統，或者為了收集這種微粒進行集中處理，則在全循環情況下，在回風墻上布置過濾器，而送風墻上布置中效過濾器。這種潔凈室的造價低于垂直單向流潔凈室。其特點是沿氣流方向，流線略下傾，含塵濃度逐漸增高，潔凈度級別逐漸下降，適用于工藝過程有多種潔凈度要求的場所。由于表面沉降微粒少，比較適合于手術室。
（2）水平單向流隧道式。隧道式潔凈室是為進一步提供工作區的潔凈度，將生產區和通道分割開而建造的由潔凈工作臺組成的超級潔凈室，它是在潔凈工作臺隧道的基礎上改進發展而來的。它與水平單向流直回式氣流組織的不同之處在于：
1）在布置空氣過濾器的送風墻的對面沒有回風墻，是向外敞開的。
2）沒有管路循環空氣，即將內部空氣相向周圍環境。
3）在這種形式中，不能采用正壓法防止和排除污染，而需靠空氣的速度防止污染的侵入。
4）這種形式內部的溫，濕度宜與環境溫、配度相同。
顯然，這種單向流潔凈隧道的送風方式，比單向流直回式潔凈室造價低，面且便于移動，尤其適合一些大型設備裝配后臨時檢修時采用。
單向流隧道式氣流組織的回風方式有以下幾種基本形式：
1）全側墻回風式。該氣流組織形式的室內回風穿過工作臺進行循環，對工作臺臺面會造成污染，并且可能會在界面產生誘導氣流，降低潔凈工作臺的潔凈等級。
2）全地板回風式。該氣流組織形式的潔凈工作臺位于潔凈室內，潔凈室的回風全部通過地板排出。這種回風方式可以避免回風對工作臺產生污染和在界面產生誘導氣流。但是由于隧道回風參與全室回風，容易導致回風速度不均勻而引起氣流偏轉現象，不容易維持潔凈度級別。
3）側墻和地板組合回風式。采用側墻和地面組合回風方式的潔凈隧道可以避免回風穿過工作臺和室內回風與工作臺共用回風道帶來的弊端。
4）水平單向流一側回風式。其主要特點是可縮短房間長度，回風氣流可用于準備間。
5）水平單向流雙側回風式。其具有水平單向流一側回風式氣流組織的特點，并且氣流更為均勻。
6）水平單向流上回風式。流線無下傾現場，可縮短房間長度。
7）水平單向流對送式。適宜于長距離凈化房間，回風格柵可省去不用。