檢測目的：檢測潔凈室內(nèi)空氣懸浮粒子等級。根據(jù)ISO 14644-1：1999（E）確定房間潔凈度分級。
儀器設(shè)備：塵粒計數(shù)器
檢測條件：靜態(tài)
對每種塵粒尺寸的允許計數(shù)限值：
ISO 4級：≤1020個/m³：0.3um以上
      ≤352個/m³：0.5um以上
ISO 5級：≤10200個/m³：0.3um以上
      ≤3520個/m³：0.5um以上
ISO 6級：≤35200個/m³：0.3um以上
      ≤293個/m³：5.0um以上
檢測步驟：
參考：ISO 14644-1:1999（E）空氣潔凈度分級
   NEBB潔凈室認(rèn)證檢測標(biāo)準(zhǔn)步驟（第二版）
1、本檢測應(yīng)在其它所有檢測完成之后進(jìn)行。
2、潔凈室在檢測進(jìn)行前12小時通風(fēng)。
3、潔凈室依照ISO 14644-1：1999（E）要求劃分為檢測網(wǎng)格，檢測網(wǎng)格數(shù)量由潔凈室面積（m²）的平方根確定。
4、ISO 5級潔凈室的采樣時間間隔為1分鐘，ISO 4和6級潔凈室的采樣時間間隔為3分鐘，計數(shù)器的采樣率為28.3lpm（1立方英尺/分鐘）
5、在每個網(wǎng)格的中心位置，距地板1m高度至少采樣一次，當(dāng)塵粒數(shù)超過允許計數(shù)上限75%，則該采樣點需3次采樣。
6、當(dāng)室內(nèi)存在障礙物，采樣點需高于障礙物表面12英寸（1英尺）。
7、根據(jù)收集的數(shù)據(jù)計算平均值，標(biāo)準(zhǔn)差及95%置信上限。
計算方法：

式中，C_i為網(wǎng)格平均濃度
    N為房間或區(qū)域內(nèi)采樣點總數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)1：各采樣點的采樣量的大值均小于大允許采樣量
標(biāo)準(zhǔn)2：（當(dāng)2≤N≤9）
≤大允許采樣量
式中：

t_0.95中的t為分布在N-1自由度下95%分位數(shù)。