1、供電系統應確保潔凈廠房內的產品生產設備、公用動力設施的安全、可靠的運轉，應防止因停電故障，造成生產中斷，使生產線上的產品、中間產品變成廢品、次品、廢料，嚴重時生產設備損壞或打亂生產程序，使恢復生產困難;由于停電使潔凈室內的潔凈環境受到破壞，需要一定的時間才能恢復。為此應根據潔凈室的產品生產特點和生產工藝的要求，準確的確定供電系統，選用必要的備用電源設備、穩壓穩頻設備、自動調壓設備、不停電設備（UPS）等。合理確定配電系統及線路，盡可能簡化系統，采用質量優良、性能可能的變配電設備。
2、潔凈室應采用質量優良、安全可靠的電氣設備。潔凈室一般相對封閉，平面布置曲折，在建筑中使用了各種類型的裝飾材料。一些電子產品的生產過程要使用各種類型的可燃或有毒氣體，有機溶劑，這些均將使潔凈室存在著潛在的可能災害，所以潔凈室內的電氣設備不僅應具有質量優良、安全可靠的特性，而且還應設置必要的、完善的保護安全措施，如：可燃或有毒氣體探測和可靠的排風設備電氣連鎖;火災報警探測器等。
3、采用節能型電氣設備。電子工廠潔凈廠房一般是連續24h運轉的電能消耗大戶，以超大規模集成電路生產用潔凈廠房的單位面積平均用電量為1.0—1.5Kw/㎡，而一般寫字樓僅為0.1 Kw/㎡左右，所以選用節能型電氣設備十分重要。這包括變配電設備、電動機的啟動方式、以及光源的選擇等。
4、注意電氣設備及線路的適應性，隨著科學技術的發展，電子產品的更新換代十分迅速，所以電子工廠的潔凈廠房常常需要進行生產流程、設備的調整、改造，潔凈度等級的提升等，因此潔凈廠房的電氣設備、線路均應留有一定的富裕量、靈活性，以適應產品生產調整、改造的要求。
5、重視采用方便管理、節約人力的電氣設備的應用，特別是重視生產過程的加工自動化、公用動力系統的自動化、物料傳輸的自動化、辦公自動化、各類管理數據收集和分析的自動化、各類防災設施的自動化等。