1、本測試用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室（區）或非潔凈室（區）通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室（區）。一般適用于1級至5級的潔凈室（區）進行測試。采用光度計法和粒子計數器法進行測試。
2、采用粒子計數器法時，測量被評價的表面的潔凈室（區）外部的空氣中懸浮粒子濃度，應比潔凈室（區）內的濃度大一個10⁴的倍數，并至少大于等于3.5×10⁶/m³待測粒徑；若其空氣中懸浮粒子濃度小于該值，應添加氣溶膠提高濃度。
粒子計數器掃描時，儀器應距離潔凈室（區）內待測試的接縫密封處或嚙合面5~10cm；掃描速度5cm/s。對敞開的門廊處的測試，應在距離潔凈室（區）內敞開的門0.3~3.0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。
3、采用光度計法時，測量被評價的表面的潔凈室（區）外部的空氣中懸浮粒子濃度高于光度計按0.1%設定值的負載，若光度計為0.1%刻度值的讀數超過0.01%就表明有滲漏。