1963年，美國潔凈室標(biāo)準(zhǔn)FED-STD-209中，按每立方英尺中≥0.5MM粉塵數(shù)量的zui高允許濃度，將潔凈室分成若干等級，如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
1999年，標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO頒布了一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)《ISO14644-1 潔凈室與受控潔凈環(huán)境》*部分：空氣潔凈度分級。標(biāo)準(zhǔn)中采用了新的分級。
2001年，中國新頒布的潔凈室設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)中采用了ISO分級。
電子工業(yè)和制藥業(yè)是與潔凈室關(guān)系zui密切的兩個行業(yè)。ISO標(biāo)準(zhǔn)一出現(xiàn)，電子行業(yè)立刻改用ISO標(biāo)準(zhǔn)定義的潔凈室級別，而制藥業(yè)目前仍沿用老的潔凈級別規(guī)定。中國1998年版GMP規(guī)范中比前一版增加了個30萬級。