1.溫度
無塵室內溫度是指室內環境空氣的溫度，單位以攝氏度(℃)表示。可以使用玻璃溫度計、數字式(包括熱電偶、熱電阻、半導體式)溫度計測定室內溫度，也可以使用干濕球濕度計、數字式濕度計和風速計所附的溫度計。要求溫度計測試范圍應在-10℃至50℃，準確度為±0.3℃。
注意：
（1）讀數時視線必須與標尺垂直，并與液柱面處于同一水平面。
（2）讀數時不可用手摸標尺或將溫度計取出插孔，更不允許用手握住溫包來讀數，否則將造成極大的誤差。
2.相對濕度
濕度是指空氣中水分的含量。有兩種表示方法：(1)濕度：單位體積空氣中所含水氣的質量；(2)相對濕度(RH)：空氣中實際水氣壓與同一溫度條件下飽和水氣壓之比值，單位用%表示。濕度一般用相對濕度表示。相對濕度可以使用干濕球溫度計、氯化鋰露點式濕度計、電容式數字濕度計測定，要求濕度計測試范圍應在12%至99%，準確度為±0.3%。使用方法參見所用儀器的使用說明書。
3.空氣流速
室內外溫差、壓差、人工通風、空調、室內熱源等都可引起空氣流動，同室外氣流一樣對污染物有稀釋和擴散作用。空氣流速可用熱球式電風速計和式電風速計測量，要求風速計測試范圍應在0.01 m/s至20m/s，準確度為±5%。使用方法參見儀器使用說明書。
4.新風量
（一）原理
采用示蹤氣體濃度衰減法。在待測室內通入適量示蹤氣體，由于室內、外空氣交換，示蹤氣體的濃度呈指數衰減，根據濃度隨時間的變化值，計算出室內的新風量。
（二）儀器和材料
（1）袖珍或輕便型氣體濃度測定儀。
（2）尺、搖擺電扇。
（3）示蹤氣體：無色、無味、使用濃度無毒、安全、環境本底低、易采樣、易分析的氣體。
表2示蹤氣體環境本底水平及安全性資料：
 
5.專業生產設備之選擇、布置與保養
a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應配備過濾裝置。
d.規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。
f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
g.生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應加強注意室內的溫濕度控制，避免因濕度之不當造成結露生銹。
i.當設備維修時易產生微塵粒子，故維修時盡量于清潔室外進行，并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商，應告知進出無塵室之各項規定，且負責工程師應隨侍在側監工。
k.應有無塵室工具組，但不得帶出無塵室外使用。