ISO 14644明確規(guī)定此項(xiàng)測(cè)試，并指出特別是對(duì)于1～5級(jí)高級(jí)別潔凈室應(yīng)有效的進(jìn)行此項(xiàng)測(cè)試。此項(xiàng)測(cè)試的目的是用以測(cè)定有無(wú)受污染的空氣從周?chē)哂邢嗤虿煌o壓的非受控區(qū)侵入到潔凈區(qū)，以評(píng)估潔凈室受周邊污染的風(fēng)險(xiǎn)，為采取相應(yīng)措施提供依據(jù)。此項(xiàng)測(cè)試可采用離散粒子計(jì)數(shù)器或氣溶膠光度計(jì)。
1、使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試污染滲漏
（1）測(cè)量緊靠被評(píng)估潔凈室外部的粒子濃度，該濃度應(yīng)該比潔凈室高出10⁴倍，并且其濃度至少等于3.5*10⁶個(gè)待測(cè)粒徑的粒子。如果濃度小于該值，為確保測(cè)試的可靠性應(yīng)使用氣溶膠發(fā)生器生成氣溶膠，以提高相鄰?fù)獠靠諝庵袘腋×Ｗ拥臐舛取?br />（2）檢查通過(guò)施工接縫或裂縫的滲漏情況時(shí)，要在潔凈室內(nèi)離待測(cè)縫隙或嚙合面5～10cm距離上進(jìn)行掃描，其掃描速度約為5cm/s。
（3）當(dāng)檢查敞開(kāi)門(mén)廊處的侵入情況時(shí)，應(yīng)在潔凈室內(nèi)距開(kāi)敞門(mén)口0.3～3.0m的距離上測(cè)量。
（4）記錄并報(bào)告較所測(cè)得的外部氣溶膠粒子濃度大于10^-3倍的讀值。
2、使用氣溶膠光度計(jì)測(cè)試污染滲漏
按照在現(xiàn)場(chǎng)檢漏高效空氣過(guò)濾器時(shí)相同的要求，在潔凈室或潔凈設(shè)施處生成足夠高濃度的氣溶膠，使得氣溶膠光度計(jì)在0.1%設(shè)定值時(shí)超負(fù)荷，氣溶膠光度計(jì)在0.1%設(shè)定值的讀值超過(guò)0.01%就表明有滲漏。
當(dāng)檢查通過(guò)施工裂縫或焊縫的滲漏情況時(shí)，要在離待測(cè)縫或密封表面5～10cm的距離上掃描封閉體內(nèi)部，掃描速度約為5cm/s。
當(dāng)檢查敞開(kāi)的門(mén)廊處的侵入情況時(shí)，在距離敞開(kāi)的門(mén)0.3～1m的距離上測(cè)量封閉體內(nèi)部的濃度。
記錄并報(bào)告所有超過(guò)氣溶膠光度計(jì)0.01%標(biāo)度的讀數(shù)。
3、測(cè)試報(bào)告
除去測(cè)試報(bào)告常規(guī)的各項(xiàng)內(nèi)容外，還應(yīng)特別報(bào)告：
（1）數(shù)據(jù)采集方法及相關(guān)細(xì)節(jié)；
（2）測(cè)量點(diǎn)的位置；
（3）測(cè)量工作在潔凈室所處何種狀態(tài)下進(jìn)行。