由于潔凈室對排除室內(nèi)污染物的要求高，因此比一般空調(diào)房間的通風(fēng)換氣量要大很多。1～5級高級別潔凈室的通風(fēng)換氣次數(shù)甚至高達幾百次之多，是普通舒適性空調(diào)房間換氣次數(shù)的幾十倍。正因為需要巨大的通風(fēng)換氣量，從節(jié)省驅(qū)動能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發(fā)，就要盡可能拉近機房與潔凈室的距離。這也正是廣泛采用裝置在潔凈室內(nèi)的風(fēng)機過濾器機組的原因之一。由于機械設(shè)備運轉(zhuǎn)造成的機械振動與噪聲、空調(diào)凈化系統(tǒng)較高的靜壓值及系統(tǒng)中氣流引起的噪聲與微振等，都比一般空調(diào)系統(tǒng)更為突出，因此潔凈室的噪聲與微振成為了其性能的關(guān)注目標(biāo)之一。潔凈室內(nèi)一般的生產(chǎn)操作和設(shè)備都十分精細，過高的噪聲與微振將影響工作效率、產(chǎn)品成品率。同樣，多數(shù)潔凈室対照度也有較高要求，這也與其產(chǎn)品與工藝的細微有關(guān)。
1、相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)定
潔凈室的噪聲、微振與照度，相關(guān)規(guī)范ISO 14644均未作具體要求，而是建議由用戶與供應(yīng)商、承包商依照其它相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，采用協(xié)商一致的辦法在合同中規(guī)定。工程竣工時依合同的規(guī)定進行檢驗。國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001對噪聲的限制值規(guī)定如下：
（1）潔凈室內(nèi)的噪聲聲級（空態(tài)），非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dB（A）。各頻帶聲壓級不宜大于下表規(guī)定：

（2）潔凈室的容許振動值，應(yīng)由所設(shè)置精密設(shè)備、精密儀器或儀表的設(shè)備制造廠商和生產(chǎn)工藝部門提供。當(dāng)用戶和相關(guān)部門不能提供容許振動值時，國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001建議，可參照GBJ22《隔振設(shè)計規(guī)范》執(zhí)行。具體指標(biāo)在檢測工作開展之前，仍需與用戶及供應(yīng)商、承包商協(xié)商確定。
國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001對潔凈室的照度有下表規(guī)定：

2、噪聲、微振與照度的檢測
（1）噪聲測試
按照國內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JGJ 71-90《潔凈室施工及驗收規(guī)范》的規(guī)定，潔凈室面積在15m²以下時，可在室中心位置測量房間噪聲，大于15m²時，一般按5個測點采樣，除房間兩對角線相交的室中心位置外，另在房間四角對角線上對稱的選取4點，測點高度一般距地面1.1m。通常采用帶倍頻程分析儀的聲級儀在規(guī)定位置測定噪聲，一般僅測A聲級的數(shù)值，必要時測倍頻程聲壓級。
對于噪聲有更嚴(yán)格要求的場所需要測定噪聲標(biāo)準(zhǔn)曲線NC或房間標(biāo)準(zhǔn)曲線RC，可參考NEBB所編寫的《潔凈室評價測試的學(xué)習(xí)課程》。
（2）微振測試
國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)建議測點選在室中心地面和認為有必要測試振動的位置和地面上，以及壁板裝配式潔凈室的各獨立壁板表面的中心處。
應(yīng)分別測出室內(nèi)全部空調(diào)凈化設(shè)備，處于正常運轉(zhuǎn)和停止運轉(zhuǎn)兩種情況下，X、Y、Z，即縱向、橫向和垂直軸3個方向上的振幅值，并應(yīng)特別注意測定同轉(zhuǎn)動設(shè)備的轉(zhuǎn)速相對應(yīng)頻率下的振幅。
選用振動分析計測定微振時，要注意其檢測精度是否滿足測試要求。
（3）照度測試
室內(nèi)照明必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源光輸出趨于正常的條件下進行。一般要求新裝日光燈已有100h，新裝白熾燈已有10h使用期；舊日光燈必須已點燃15min，舊白熾燈已點燃5min后進行測試。
通常規(guī)定潔凈室照度只測除特殊照明之外的一般照明。國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，測點平面離地面0.8m，按1～2m間距布置，測點宜離地面0.5～1.0m。
NEBB要求將房間劃分為0.6m見方的小面積，在離地面760mm的中心位置測照度，關(guān)于照度平均值的獲得還有一系列規(guī)定與方法，詳見NEBB《潔凈室評價測試的學(xué)習(xí)課程》。